Durante el Paleozoico, el oxígeno experimentó cambios importantes. Tras valores relativamente bajos en el Cámbrico, Ordovícico y Silúrico, se observa un aumento asociado con la expansión de las plantas vasculares terrestres. Estas plantas incrementaron la producción de materia orgánica y liberaron grandes cantidades de O₂. El máximo se alcanzó hacia el Carbonífero, cuando los niveles pudieron superar ampliamente los actuales. Este incremento favoreció la diversificación de animales terrestres, insectos grandes y ecosistemas ricos en biomasa vegetal. También permitió la acumulación de materia orgánica que, al quedar enterrada, contribuyó a formar depósitos de carbón.
Después de ese máximo, la gráfica muestra descensos y recuperaciones. Uno de los eventos señalados es la caída posterior al evento pérmico, una crisis biológica que alteró profundamente los ecosistemas. Durante el Mesozoico, en períodos como Triásico, Jurásico y Cretácico, el oxígeno siguió fluctuando junto con cambios en clima, vegetación, océanos y ciclos del carbono. En el Cenozoico aparece un nuevo aumento relativo, aunque el nivel moderno ronda aproximadamente el 21 %. Esta variación demuestra que la atmósfera es un sistema dinámico, regulado por la relación entre fotosíntesis, respiración, enterramiento de carbono, oxidación de materia orgánica y evolución de los seres vivos.
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